壓電晶體生長(zhǎng)爐 技術(shù)參數(shù)

技術(shù)參數(shù)：

爐體內(nèi)腔尺寸：φ800mm×1000mm

外形尺寸：1000mm×1000mm×2500mm

最大長(zhǎng)晶尺寸：6英寸

籽晶軸提拉行程：450mm

提拉運(yùn)動(dòng)最小線速度：0.01mm/hr

快速提拉速度：200mm/min

籽晶軸轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0.1～100r/min

稱(chēng)重系統(tǒng)：稱(chēng)重傳感器量程20kg；信號(hào)放大器顯示精度0.01g

控制軟件：提拉法等徑控制軟件，采用上稱(chēng)重方法來(lái)控制晶體直徑，晶體形狀可隨意設(shè)計(jì)，PID及運(yùn)動(dòng)參數(shù)可隨晶體形狀過(guò)渡變化，屏幕上數(shù)據(jù)交叉顯示提供生長(zhǎng)過(guò)程中數(shù)據(jù)綜合分析工具。

加熱電源：中頻感應(yīng)加熱

加熱最大輸出功率：30KW

真空系統(tǒng)：機(jī)械泵抽真空