壓電晶體生長爐 技術參數(shù)
技術參數(shù)：
爐體內(nèi)腔尺寸：φ800mm×1000mm
外形尺寸：1000mm×1000mm×2500mm
最大長晶尺寸：6英寸
籽晶軸提拉行程：450mm
提拉運動最小線速度：0.01mm/hr
快速提拉速度：200mm/min
籽晶軸轉動速度：0.1～100r/min
稱重系統(tǒng)：稱重傳感器量程20kg；信號放大器顯示精度0.01g
控制軟件：提拉法等徑控制軟件，采用上稱重方法來控制晶體直徑，晶體形狀可隨意設計，PID及運動參數(shù)可隨晶體形狀過渡變化，屏幕上數(shù)據(jù)交叉顯示提供生長過程中數(shù)據(jù)綜合分析工具。
加熱電源：中頻感應加熱
加熱最大輸出功率：30KW
真空系統(tǒng)：機械泵抽真空
水冷系統(tǒng)：爐腔、加熱線圈流量控制循環(huán)冷卻。
